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环境电容式膜片真空计

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环境电容式膜片真空计

  • 所属分类:高精度真空计

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  • 发布日期:2017/08/18
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环境电容式膜片真空计

温度补偿,不依赖环境


产品

SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 托 / 毫巴

SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

SKY® CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴


环境电容式膜片真空计

温度补偿,不依赖环境


产品

SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 托 / 毫巴

SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

SKY® CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴


全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托

电源接通后快速稳定

暴露于大气压后快速恢复

防腐陶瓷传感器

卓越的长期信号稳定性

温度补偿

传感器防污染保护

一键调零功能

电源范围广

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备

数据存储和显示制造设备

工业真空设备

常规高精度压力测量


类型1000 Torr / 1100 mbar500 ... 10 Torr / mbar1 Torr / mbar0.25 Torr0.1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.20.20.20.250.5
温度效应




零点percent FS/°C0.0050.0050.0150.020.02
满量程% of reading / °C0.010.010.010.030.03
分辨率percent FS0.0030.0030.0030.0030.003
压力,最大kPa (absolute)400260260130130
反应时间 (2)ms303030130130
最低读数percent FS0.010.010.010.010.01
建议的最低读数percent FS0.050.050.050.050.05
建议的最低控制压力percent FS0.50.50.50.50.5
温度




运行(环境)°C+5 … +50+5 … +50+5 … +50+5 … +50+5 … +50
在法兰处烘烤 (3)°C≤110≤110≤110≤110≤110
贮存°C–40 … +65–40 … +65–40 … +65

零件号

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